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ネイバーから、【 フッ化水素 イレブンナインを直接研究してみたら ... "数十年挑戦して初めて得られる匠のノウハウのようだ" 】という記事の翻訳


あれ?? 昨日だったか、100%国産化に成功したっていうニュースがあったような...

今現在使う分は国産化できたってことだったのか?




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フッ化水素 イレブンナインを直接研究してみたら ... "数十年挑戦して初めて得られる匠のノウハウのようだ"

韓国経済
記事入力 2019.12.13 17:11   最終修正 2019.12.13 20:53


漢陽大学 化学工学科の「素材実験」

半導体パターンを刻むエッチング工程の必須原料
不良率1%だけ上がっても年数千億損失
純度99.999%になれば使うことができる


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漢陽(ハンヤン)大学 化学工学科の大学院生たちが実験室でグローブボックスを利用して熱力学関連の課題を研究している


「全羅南道麗水市(チョルラナムド、ヨス市)の南海化学と蔚山ファーム韓農から出るリン酸廃棄物でフッ化水素(HF)を作ったらどうでしょうか。」

12日、ソウル漢陽(ハンヤン)大学 化学工学科の "化学熱力学" 授業プレゼンテーション(PT)の中で出た学生たちの提案だ。 フッ化水素は今年、日本の経済制裁で半導体ディスプレーなど産業界の話題に浮上した核心素材だ。 半導体のパターンを刻むエッチング工程の必須原料だ。


漢陽大の学生たちはプロジェクトベースの講義(PBL)で行われた今回の授業で、フッ化水素の製造方法はもちろん、不純物が0.001%以下のファイブナイン(99.999%)高純度フッ化水素、イレブンナイン(99.999999999%)と呼ばれる超高純度フッ化水素製造方法まで分析して発表した。 現在、半導体工程用フッ化水素は全量輸入に依存している。

漢陽大学化学工学科のペ・ヨンチャン教授は、「学生たちがフッ化水素分析課題を準備し、素材技術が全くない韓国の現実に初めて接し、衝撃を受けた」とし、「基礎科学の重要性を知らせる契機となってよかった」と話した。


オーケストラのように進められる工程

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99%以下純度フッ化水素は、ウランなど鉱物を抽出するのに使用される。 99.9%以下の純度は石油化学製品を作る際に触媒に使われる。 ファイブナイン(99.999%)以上になってこそ、半導体エッチング工程などに利用できる。 エッチング工程はシリコン基板の上に敷かれた酸化膜を版画のように削り取る工程だ。

高純度フッ化水素の原料である無水フッ酸を製造する方法は二つだ。 蛍石(fluorite)又はフッ化ケイ素酸(fluosilicicacid:FSA)を用いて製造するものである。

フッ化カルシウムからなる蛍石に硫酸を混合して、100度程度に加熱すると微量のフッ化水素と硫酸水素カルシウムが生成される。 この時フッ化水素への転換率は約40%に過ぎない。 この中間生成物をロータリーキルンに入れて500度の高温で混ぜると石膏と硫酸で分解される。 この時出た硫酸は、進んだ過程で未反応の蛍石と再び反応し、硫酸カルシウムとフッ化水素を出す。

比較的簡単な化学反応のようだが、そうではない。 まず、反応物が有毒物の硫酸を含むトロりとした「ペースト」状態で継続して現われるため、装置腐食の恐れが大きい。 装備エネルギー効率も急激に低下しやすい。

つまり、ペースト制御が「製法を使うに値する」フッ化水素を生産するカギとなる。 ペースト制御は特定の触媒にすることもでき、原料混入量又は反応器温度等工程条件が異なっても可能である。 良い装備が必要なのは言うまでもない。 この過程で一つ外れてもフッ化水素の製造は不可能だ。


◆「技術を超えて、芸術だ」

このような通常工程を超えれば、フォーナイン(99.99%)、純度のフッ化水素が生成される。 ソルブレイン、エヌエフテクノロジー、ウォンイク、フソンなど、国内企業も同水準の技術は持っている。 ここから極微量の不純物をなくすのがカギだ。 微量の不純物だけでも不良率が高騰しかねないからだ。

不良率が1%だけ上がっても年間数百~数千億ウォンの損害が発生するというのが半導体業界の通説だ。 0.001%ほど入っているヘキサフッ化ケイ素酸、0.003%含まれている二酸化硫黄、0.0005%の水分などを除去してこそ、現在汎用の半導体工程で使われる "ファイブナイン(99.999%)" 純度のフッ化水素を得ることができる。


ファイブナインからさらに、測定さえ難しい0.00001%以下、極微量の砒素、鉄などを失くせば、世界で日本(ステラケミファ等)だけが持っている "イレブンまたはのトゥエルブ・ナイン(99.999999999%)" 純度のフッ化水素が出てくる。 10ナノメートル(㎚・1㎚=10億分の1m)以下の次世代半導体工程に使われるフッ化水素だ。 イレブンナイン フッ化水素はシエンビ産業が2011年に特許を出したが、まだ実験室レベルに留まっていて商用化はされなかった。


ペ・ヨンチャン教授は「フッ化水素は事実多くの素材企業なら誰でも作れるが、カギは、純度」とし、「日本は素材分野で技術を越えて芸術に上がった境地だ。(文在寅政府が主張するように)素材関連の競争力が数年内に確保されることは難しい」と指摘した。 イレブンナインのフッ化水素などは、数十年以上続く試行錯誤の末に得られる「職人のノウハウ」という説明だ。


今回の講義で注目されたのは、蛍石ではなくFSA(フッ化ケイ素酸)を利用してフッ化水素を製造する代案技術だ。 フッ化水素原料である無水フッ酸の20%がこの技術で製造されている。 リン酸製造過程の副産物であるFSAを減らし、低コストで無水フッ酸を生産し、環境汚染も減らすことができるという説明だ。 米国のデュポンなどがこの技術を持っているが、まだ国内で試みた会社はない。

韓国ネチズンの反応
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ソース
http://news.naver.com/main/read.nhn?mode=LSD&mid=sec&sid1=001&oid=015&aid=0004257200


01. 韓国人(golt****)
間違った記事です。 一般的な無水フッ酸は蛍石と硫酸をベースに生産する方式で、ケイフッ酸ベースは不純物が高く、この方式は多くない。 国内にはフソンが唯一、蛍石と硫酸ベースで無水フッ酸を生産し、高純度フッ酸は国内で唯一ソルブレインが生産する。 どこを見て比較をするのか。そしてソルブレインの生産品質水準は日本と差がなく、すでにサムスン電子から全量採用して使っている。 最近増設までして国内高純度フッ酸需給に問題がなくなり、このためサムスンでソルブレインに持分投資をしたのだ。 記者さん、ちゃんと分かってから書いてくださいね
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02. 韓国人
>01
ソルブレインも向上に日本製品が無ければ回らないよww;;;
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03. 韓国人
>01
書き込みをするときは分かってから答えましょう..ソルブレインで後処理するフォーナインフッ化水素はあくまでも企業の要求値に十分だということで、トゥエルブ・ナイン製造する日本水準までではない。数年前まで4ナイン、独自技術で作るという日本、台湾に出張していた国内企業の社員です。日本と同等のレベル??? 笑っていくよwwあきれてwww
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04. 韓国人(golt****)
>03
関連業界の経歴10年です。直接日本製と比較して分析してみたんです。担当者を通じて確認しましたし、半導体の工程投入も確認しました。どうか自負心を持ってください。いつまでうずくまって太るんですか
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05. 韓国人(golt****)
>03
半導体の工程はちゃんと知っていますか。後処理ではなく洗浄とエッチングの段階で使われるのがフッ酸です
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06. 韓国人
>01
国産の悟空超強力ボンドを買ったら原料は日本って書いてあったよwww
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07. 韓国人
それで日本のフッ化水素を永遠に使うというのが韓国経済親日記者が言いたいことなのか? とんでもない記事だね
共感339 非共感168


08. 韓国人
どうかみんな、これがファクトだ。日本が私たちより技術がずっと優れているってことがファクトだ。基礎科学も駄目な国で日本のあの濃度が出るのが簡単なのか? どうか認めることは認めろ
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09. 韓国人
本当に我々の技術水準が世界的だと扇動していることが、自国の産業発展を阻もうとするのだ
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10. 韓国人
竹槍さえ持ち上げれば... イレブンナインのフッ化水素が作れる!!! 作れないと言ったら... 親日派? 世の中を知らない子どもでもないのに????
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11. 韓国人
文在寅が嘘つきな証拠だ。 口から出るのは嘘と文句だけ
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12. 韓国人
化学業界の従事者として、コメントを数十回も書いたが、嫌ですと書き込まれた。フッ化水素作れない。50年はかかる。 ノウハウが無く地面にヘディング...
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13. 韓国人
"文在寅保有国" なのに言葉で出来ないことは無いよねw? 十年以内にアメリカにも追いつくと言いそうだが...ww
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14. 韓国人
コメントを書く人間のレベルがすごいね。研究中の教授が話すのは嘘で本人が聞いた話を本当だと言い張ってるんだね
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15. 韓国人
文在寅の言葉通り数年内に日本に追いついている、こんな言葉もならないことを信じている愚かな人々はいないよね??情けない
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16. 韓国人
大韓民国左派の特徴、自分が聞きたいことだけを聞いて、見たいことだけ見て、自分たちが間違っていると分かっても、現実否定、他人のせいする。それによって生じた問題については、口をつぐんで知らないふりをする
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17. 韓国人
アジア最高の技術強国である日本のレベルにそんなに簡単に追いつくと思ったのか。 出来ることと、出来ると口だけで騒ぐのは違うことだ
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18. 韓国人
フッ化水素の国産化に成功という言葉は、これまで国民を欺いた偽情報だったということか。 左派のマスコミと左派政府、そして文在寅の言葉は、どこまでが真実なのか信じられない
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19. 韓国人
これはデモをやっていた奴らがよくできます。口だけですることです....。工学的常識のない奴らだからです
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20. 韓国人
韓国は、アカが多すぎる。 政権を変えたらきれいにやっていこう
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21. 韓国人
この国には土着倭寇が多すぎる。 日本政府のカネを受け取る奴は、みな名簿管理しなければならない
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22. 韓国人
行く道が遠くても、その道を行かないと永遠に行けない
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23. 韓国人
国内で開発したというフッ化水素は次世代半導体工程には使えないということだ...
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24. 韓国人
記者がたくさん勉強して記事を書いたね。 サムスン電子の場合、7nmまで量産突入し、5nmは公正セットアップ、3nmは工程開発中だ。 このような10nm以下の超微細工程では分子の大きさが他の不純物分子に誤ったエッチングをすることになれば、致命的な不良を引き起こすことになる。 このような不良を防止するため、イレブン9級の超高純度フッ化水素が必要だが、簡単ではない。 実験室で一度や二度得られる水準と、安定的かつ均一的な品質を維持する量産の水準の確保とは次元が違う話だ。 我々にもできるという希望と期待は良い話だが、現実は違う。 国産化成功までは、我慢しなければならない
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25. 韓国人
ところで、フソンの株価はなんであんなありさまなのか... フッ化水素開発して納品すると投資したが...
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26. 韓国人
結論は政府の言葉が嘘なのか??
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27. 韓国人
左はどうしてファクトを言えばいつも怒るんですかwww
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28. 韓国人
サムスンが国産納品するのはもともと100%国産化を97年に終えた、異物洗浄用液体フッ化水素(フッ酸)である。今の国産化対象は、気体フッ化水素(エッチングガス)である。 エッチング=式刻=彫刻用 半導体における彫刻刀の役割は分子構造が大きな液体はできず、気体にしなければならない。 問題は気体フッ化水素は日本原材料(中核素材)の供給がなければ生産不可。 液体と気体フッ化水素が違うとソルブレインが何度も訂正報道する。訂正情報もなければ、「虚偽情報による株価操作」で資本市場法違反と業務上背任の疑いで刑事告訴されかねないからだ
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29. 韓国人
我が国の人々は日本との技術格差を認めないwww 知ってる人はみんな知ってる。あれ数年は絶対追いつけないwww
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30. 韓国人
対国民詐欺劇場だったのか?? 竹槍野郎どもよ
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31. 韓国人
ここのコメントを見ると火星に行く宇宙船も 明後日作るような勢いだねwww
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32. 韓国人
日本が素材技術力の面ではずば抜けているのは事実だ。扇動家たちの言葉を聞いていたら、国はもう亡くなる
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33. 韓国人
日本の基礎科学水準が基礎科学を放棄した水準である韓国と比べ物にならないのに、フッ化水素を生産するとかうわごとばかり言って、以前に開発すると言った時は文災害が反対の先頭に立ちながら..嫌なやつ
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34. 韓国人
現実そのまま報道すると、倭寇扱いされる。 グクポン精神勝利で自我陶酔する民族だからw
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<補足>
グクポン:自国を無条件褒め称える「無条件愛国主義者」



35. 韓国人
後に後悔しないで日本製品100%使いなさい
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36. 韓国人
日本を馬鹿にする人が多いが、日本の大学の理工系研究室の施設を一度見てみると、驚くほど。 名が知れた日本の理工系大学は韓国の浦項工科大学のレベル以上なんだけど... ノーベル科学賞(物理、化学、医学・生理)20人余り、運で受賞したと思うか
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37. 韓国人
竹やりがあるのに何を心配するのか、文在寅、チョグクよ..うん?
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38. 韓国人
訳もなく日本のものを使うのではない。品質がすぐれているし近い国だからお金もかからないし
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39. 韓国人
学校で分かっているレベルでは企業の能力まではわかりませんから。 企業内でも機密は徹底的に守られているからです
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40. 韓国人
専門家たちがまだだめだというのに、お前たちが何だって言うんだwwwwww
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